Detailplanung der Medienversorgung für Reinraumanlagen in der Halbleiterindustrie

SPIE AUTOMATION realisierte die Detailplanung der Medienversorgung für vier Anlagen in einem bestehenden Reinraum eines Kunden aus der Halbleiterindustrie. Ziel des Projekts war es, die vorhandene Infrastruktur präzise zu analysieren, zu erweitern und optimal auf neue Maschinen auszulegen. Dabei entstand eine durchgängige, zukunftssichere Planung der Medienver- und -entsorgung als Grundlage für den weiteren Anlagenbetrieb.

Herausforderung und Zielsetzung

Ein bestehender Reinraum sollte für den Einsatz neuer Maschinen angepasst werden. Die vorhandene Medieninfrastruktur war jedoch nur teilweise dokumentiert und nicht vollständig auf die neuen Anforderungen ausgelegt. Mehrere Medienanschlüsse mussten überprüft, angepasst oder neu erschlossen werden. Besonders für das Prozesskühlwasser bestand zusätzlicher Planungsbedarf. Der Kunde benötigte daher eine strukturierte und belastbare Planungsgrundlage, die sowohl den aktuellen Bedarf abdeckt als auch spätere Erweiterungen berücksichtigt.

Lösung

SPIE AUTOMATION übernahm die technische Planung und führte zu Projektbeginn eine umfassende Bestandsaufnahme durch. Mithilfe eines 3D-Laserscans wurden der Reinraum, angrenzende Bereiche sowie die relevante technische Infrastruktur vollständig erfasst. Die gewonnenen Daten dienten als Grundlage für die weitere Planung.

Darauf aufbauend wurden folgende Leistungen erbracht:

Verfahrenstechnische Auslegung der benötigten Medien
Erstellung von P&IDs sowie Instrumenten- und Stücklisten
3D‑Rohrleitungs- und Layoutplanung inklusive Halterungen und erforderlicher baulicher Anpassungen
Erstellung von Ausschreibungsunterlagen und Unterstützung bei der Vergabe
Projektleitung und Koordination der beteiligten Gewerke

Durch die digitale Planung konnten notwendige Anpassungen im Projektverlauf berücksichtigt und Änderungen nachvollziehbar umgesetzt werden.

Nutzen

Der Kunde erhielt eine vollständig geplante und umsetzungsreife Medienversorgung für den Reinraum. Die neuen Maschinen können auf dieser Basis in das bestehende Umfeld integriert und betrieben werden. Die Planung berücksichtigt zudem mögliche zukünftige Erweiterungen, sodass zusätzliche Anlagen mit überschaubarem Aufwand angebunden werden können.

Diese SPIE AUTOMATION Stärken kamen zum Einsatz

Hohe Flexibilität in der Planung und schnelle Anpassung an sich ändernde Anforderungen
Ganzheitliche Umsetzung aus Verfahrenstechnik, Konstruktion, Planung und Projektleitung
Effiziente Projektabwicklung durch Vor-Ort-Präsenz und kurze Entscheidungswege
Präzise Bestandsaufnahme und Planung durch Einsatz von 3D-Laserscans
Lösungsorientierter Umgang mit unklaren Bestandsdaten und Projektänderungen
Starkes regionales Netzwerk für Auswahl und Koordination geeigneter Partner

Über unseren Kunden

Unser Kunde ist ein innovatives Technologieunternehmen in einem hochspezialisierten Bereich der Halbleiterentwicklung. Mit starkem Fokus auf Forschung und Entwicklung arbeitet das Unternehmen an zukunftsorientierten Lösungen für moderne Datenverarbeitung und elektronische Systeme. Ein zentraler Bestandteil der technologischen Kompetenz des Unternehmens ist die Oberflächenbehandlung von Siliziumwafern, um hochpräzise und funktionale Schichten für komplexe Halbleiterstrukturen zu erzeugen.

Branche
Halbleiterindustrie

Gemeinsam mit allen beteiligten Abteilungen haben wir das Projekt trotz zahlreicher Herausforderungen erfolgreich umgesetzt. Besonders hervorzuheben ist, dass die Halbleiterindustrie für uns eine neue Branche ist und es sich um unser erstes Projekt in diesem Bereich handelte. Alles aus einer Hand – jeder unterstützt den anderen, um das gemeinsame Ziel zu erreichen.