Einbringung eines Behälters für die Halbleiterindustrie unter beengten Platzverhältnissen

Zur Erweiterung der Chemikalienversorgung installierte SPIE AUTOMATION für die Fäth GmbH in Dresden einen Behälter aus glasfaserverstärktem Kunststoff (GFK) bei einem internationalen Hersteller von Halbleitern. Aufgrund der äußerst beengten Platzverhältnisse musste der Behälter nicht nur aufgerichtet, sondern anschließend präzise in die vorgesehene Tankwanne abgesenkt werden. Durch eine detaillierte technische Planung, den Einsatz spezieller Hebetechnik und die enge Zusammenarbeit aller Projektbeteiligten konnte der Transport sicher und ohne Beeinträchtigung der laufenden Produktion umgesetzt werden.

Zu sehen sind Mitarbeiter, die an der Verlagerung des Behälters arbeiten.
Abb.: Einbringung eines Behälters für die Halbleiterindustrie unter beengten Platzverhältnissen © SPIE AUTOMATION

Herausforderung und Zielsetzung

Die Fäth GmbH beauftragt regelmäßig Partnerunternehmen mit der Einbringung und dem Austausch von Chemikalienbehältern. Die Herausforderung bei diesem Projekt bestand darin, den neuen GFK-Behälter an einem bereits bestehenden Anlagenstandort einzubringen, an dem nur sehr wenig Bewegungsraum zur Verfügung stand. Der Behälter musste zunächst aufgerichtet und anschließend mehrere Meter tief in eine vorgesehene Tankwanne abgesenkt werden. Oberste Priorität hatte dabei die Sicherheit und der Arbeitsschutz. Aufgrund der engen Platzverhältnisse durfte es unter keinen Umständen zu einer Kollision mit angrenzenden Anlagen, Rohrleitungen und bestehenden Tanks kommen. Bereits kleinste Beschädigungen hätten eine Unterbrechung der Halbleiterproduktion zur Folge haben können. Ebenso musste sichergestellt werden, dass der Behälter während des gesamten Hebe- und Transportvorgangs jederzeit kontrolliert bewegt werden konnte und keinerlei Beschädigungen entstehen. Ziel war es daher, den gesamten Einbringungsprozess bereits im Vorfeld so detailliert zu planen, dass sämtliche Arbeitsschritte sicher, effizient und mit maximaler Präzision ausgeführt werden konnten.

Lösung

Die Projektplanung begann bereits im Oktober 2025. Schon während der Objektbesichtigung in Vorbereitung der Angebotskalkulation wurden sämtliche räumlichen Gegebenheiten exakt aufgenommen und durchgespielt. Da sich der Behälter zu diesem Zeitpunkt noch in der Fertigung befand, stellte die Fäth GmbH die entsprechenden Abmessungen zur Verfügung. Anschließend wurden die Maße des Behälters und des vorhandenen Aufstellbereichs zeichnerisch miteinander abgeglichen. Zusätzlich wurden die benötigten Kettenzüge in die Planung integriert. Auf diese Weise konnte bereits vor Projektbeginn nachgewiesen werden, dass sich der Behälter innerhalb der vorhandenen Platzverhältnisse sicher bewegen ließ.

Von Beginn an arbeiteten die Projektteams von der Fäth GmbH und von SPIE AUTOMATION eng und vertrauensvoll als Partner zusammen. Darüber hinaus wurden frühzeitig erfahrene Kollegen aus weiteren Geschäftsbereichen der SPIE Gruppe eingebunden. Insbesondere die Erfahrungen der Kollegen aus dem Bereich SPIE Efficient Facilities im Umgang mit Transporten innerhalb von Halbleiterwerken lieferten wertvolle Erkenntnisse für die Umsetzung.

Für den eigentlichen Hebevorgang kamen zwei Kettenzüge zum Einsatz, die an bereits werkseitig vorhandenen Stahlträgern unter der Hallendecke befestigt wurden. Die Statik der Tragkonstruktion wurde im Vorfeld entsprechend nochmal geprüft. Diese Tragkonstruktionen sind speziell für den Transport großer Anlagenteile ausgelegt und boten die notwendige Grundlage für eine sichere Durchführung des Projekts.

Vor Beginn der Arbeiten wurden sämtliche Hebezüge technisch geprüft und freigegeben. Zusätzlich trugen alle beteiligten Mitarbeiter die vorgeschriebene persönliche Schutzausrüstung. Während des gesamten Hebe- und Transportvorgangs wurde der Behälter ausschließlich millimeterweise bewegt. Dadurch konnten unvorhersehbare Pendelbewegungen jederzeit sofort gestoppt werden, bevor es zu einer Berührung mit benachbarten Anlagen, Rohrleitungen und Tanks kommen konnte.

Im Zuge der Durchführung zeigte sich, dass die Platzverhältnisse am vorgesehenen Aufstellort von den ursprünglichen Annahmen abwichen. Der Behälter wurde daher zunächst an einer geeigneten Zwischenposition abgestellt. Nachdem die erforderlichen Anpassungen an den bestehenden Rohrleitungen vorgenommen und der notwendige Freiraum geschaffen wurde, konnte er am Folgetag auf seine endgültige Position verschoben werden. Die veränderte Situation erforderte eine kurzfristige Anpassung der Personal- und Einsatzplanung. Der bereits für weitere Baustellen vorgesehene Bauleiter verschob seinen Folgeeinsatz, um die finale Einbringung des Behälters zwei Tage nach dem ersten Einsatz zu begleiten. Durch die enge Abstimmung der verantwortlichen Projektleiter innerhalb von SPIE AUTOMATION konnte die Planung flexibel angepasst und der weitere Projektverlauf ohne Beeinträchtigungen fortgeführt werden.

Nutzen

Mit der Installation des neuen Behälters wurde der bestehende Chemikalienbehälter im Rahmen des regulären Equipment-Austauschs ersetzt. Der bisherige Behälter bleibt zunächst weiterhin in Betrieb und wird erst demontiert, nachdem der neue Behälter vollständig ins Anlagensystem angeschlossen, mit der vorgesehenen Chemie befüllt und seine Betriebssicherheit über den vorgesehenen Produktionszeitraum nachgewiesen hat. Dadurch bleibt die Versorgung der Produktion jederzeit gewährleistet. Das Projekt zeigt, wie sich selbst komplexe Hebe- und Transportaufgaben unter engsten Platzverhältnissen durch sorgfältige Planung, technische Präzision und eine enge Zusammenarbeit aller Beteiligten sicher umsetzen lassen. Gleichzeitig wurde eine Grundlage für weitere gemeinsame Projekte geschaffen, da die Fäth GmbH gemeinsam mit ihrem Partner SPIE AUTOMATION bereits die Umsetzung weiterer vergleichbarer Vorhaben plant.

Diese SPIE AUTOMATION Stärken kamen zum Einsatz

Über unseren Kunden
Die Fäth GmbH (Fäth Group) ist ein international führender Anlagenbauer und Spezialist für Reinstmedien-Versorgung und Recycling. Das Unternehmen entwickelt, baut und installiert maßgeschneiderte Systeme für die Ver- und Entsorgung von Gasen, Chemikalien und Reinstwasser, insbesondere für die Halbleiterindustrie, Photovoltaik, Pharmazie, Biotechnologie und Batterieindustrie.

Branche
Anlagenbau und -technik

Für uns war von Anfang an klar, dass wir einen Partner brauchen, auf den wir uns zu 100 Prozent verlassen können. Mit SPIE AUTOMATION haben wir bereits mehrere Projekte erfolgreich umgesetzt und dabei immer sehr gut zusammengearbeitet. Als wir uns beim Kunden trafen, hatte ich direkt das Gefühl, dass SPIE der richtige Partner ist, und im weiteren Verlauf bestätigte sich diese Einschätzung. Das Einbringen eines Chemiebehälters war eine anspruchsvolle Aufgabe, bei der viele Faktoren genau abgestimmt werden mussten. Die Planung und Umsetzung waren von Anfang bis Ende ausgereift und der Terminplan wurde eingehalten, gerade weil es bei solchen Projekten keine zweite Chance gibt. Ich bin mit dem Ergebnis sehr zufrieden.

 

Uwe Franz
Project Manager/ Standortleiter
Fäth GmbH

Vor, während und nach der Projektumsetzung war jederzeit die positive Energie zwischen allen Projektbeteiligten spürbar. Jeder hat jeden sofort unterstützt. Unsere langjährige Zusammenarbeit, die Erfahrungen aus vergleichbaren Projekten sowie das enge Vertrauensverhältnis zwischen der Fäth GmbH und SPIE AUTOMATION haben wesentlich dazu beigetragen, auch unerwartete Herausforderungen schnell und pragmatisch zu lösen. Da bereits weitere gemeinsame Projekte geplant sind, freuen wir uns darauf, die gewonnenen Erfahrungen künftig erneut erfolgreich einzusetzen.

Bert Fischer
Dipl. Ingenieur/ Büroleiter Dresden
SPIE AUTOMATION

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